Conductance transient comparative analysis of ECR-PECVD deposited SiN x, SiO2/SiNx and SiOxNy dielectric films on silicon substrates

1. Castán, H.
2. Dueñas, S.
3. Barbolla, J.
4. Del Prado, A.
5. San Andrés, E.
6. Mártil, I.
7. González-Díaz, G.