Optical and structural properties of SiOxNyHz films deposited by electron cyclotron resonance and their correlation with composition

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2003

Volumen: 93

Número: 11

Páginas: 8930-8938

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1566476 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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