Thermally induced changes in the optical properties of SiNx:H films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method

  1. Martínez, F.L.
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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 1999

Volumen: 86

Número: 4

Páginas: 2055-2061

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.371008 GOOGLE SCHOLAR
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