Limitations of high pressure sputtering for amorphous silicon deposition

  1. García-Hernansanz, R.
  2. García-Hemme, E.
  3. Montero, D.
  4. Olea, J.
  5. San Andrés, E.
  6. Prado, A.
  7. Ferrer, F.J.
  8. Mártil, I.
  9. González-Díaz, G.
Aldizkaria:
Materials Research Express

ISSN: 2053-1591

Argitalpen urtea: 2016

Alea: 3

Zenbakia: 3

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/2053-1591/3/3/036401 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus