Thermally induced improvements on SiNx:H/lnP devices

  1. Redondo, E.
  2. Blanco, N.
  3. Mártil, I.
  4. González-Díaz, G.
  5. Pelaez, R.
  6. Dueñas, S.
  7. Castán, H.
Aldizkaria:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 17

Zenbakia: 4

Orrialdeak: 2178-2182

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1116/1.582107 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus