Shallow junctions in p-In.53Ga.47As by ion implantation

  1. Blanco, M.N.
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  4. Santamaría, J.
  5. González-Díaz, G.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1999

Volumen: 147

Número: 1-4

Páginas: 166-170

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(98)00606-5 GOOGLE SCHOLAR
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