Dependence of the physical properties of SiNx:H films deposited by the ECR plasma method on the discharge size

  1. Garcia, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Martil, I.
  4. Gonzalez-Diaz, G.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1998

Volumen: 315

Número: 1-2

Páginas: 22-28

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00374-X GOOGLE SCHOLAR
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