Control system for a 300 kV ion implanter

  1. Martin, J.M.
  2. González-Díaz, G.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 1994

Volum: 88

Número: 3

Pàgines: 331-337

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0168-583X(94)95332-5 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus