Control system for a 300 kV ion implanter

  1. Martin, J.M.
  2. González-Díaz, G.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Ano de publicación: 1994

Volume: 88

Número: 3

Páxinas: 331-337

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0168-583X(94)95332-5 GOOGLE SCHOLAR
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