Sputtering process of Cu2S in an Ar atmosphere

  1. Santamaria, J.
  2. Iborra, E.
  3. Mártil, I.
  4. González-Diaz, G.
  5. Sánchez-Quesada, F.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1987

Volumen: 37

Número: 5-6

Páginas: 433-436

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(87)90328-9 GOOGLE SCHOLAR
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