Optimization of scandium oxide growth by high pressure sputtering on silicon
- Feijoo, P.C.
- Pampillón, M.A.
- San Andrés, E.
- Lucía, M.L.
Revista:
Thin Solid Films
ISSN: 0040-6090
Año de publicación: 2012
Volumen: 526
Páginas: 81-86
Tipo: Artículo