Gadolinium scandate by high-pressure sputtering for future generations of high-κ dielectrics

  1. Feijoo, P.C.
  2. Pampillón, M.A.
  3. San Andrés, E.
  4. Fierro, J.L.G.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Año de publicación: 2013

Volumen: 28

Número: 8

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/28/8/085004 GOOGLE SCHOLAR
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