Line width dependent mobility in high-k - A comparative performance study between FUSI and TiN

  1. Pantisano, L.
  2. Trojman, L.
  3. Severi, S.
  4. San Andres, E.
  5. Kerner, C.
  6. Veloso, A.
  7. Ferain, I.
  8. Hoffman, T.
  9. Groeseneken, G.
  10. De Gendt, S.
Actas:
International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications, Proceedings

ISBN: 9781424405855

Año de publicación: 2007

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/VTSA.2007.378909 GOOGLE SCHOLAR
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