Production of ordered silicon nanocrystals by low-energy ion sputtering

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Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2001

Volumen: 78

Número: 21

Páginas: 3316-3318

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1372358 GOOGLE SCHOLAR
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