The effect of parameter choice on predicted depth resolution in sputter profiling

  1. Carter, G.
  2. Nobes, M.J.
  3. Katardjiev, I.V.
  4. Jiménez-Rodríguez, J.J.
  5. Abril, I.
  6. Gras-Martí, A.
Aldizkaria:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Argitalpen urtea: 1992

Alea: 67

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 486-490

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0168-583X(92)95857-N GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus