Uncertainty contribution of tip-sample angle to AFM lateral measurements

  1. González-Jorge, H.
  2. Fernández-López, M.A.
  3. Valencia, J.L.
  4. Torres, S.
Zeitschrift:
Precision Engineering

ISSN: 0141-6359

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 35

Nummer: 1

Seiten: 164-172

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.PRECISIONENG.2010.08.001 GOOGLE SCHOLAR
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