Surface relief subwavelength gratings by means of total internal reflection evanescent wave interference lithography
ISSN: 1464-4258, 1741-3567
Datum der Publikation: 2006
Ausgabe: 8
Nummer: 4
Art: Artikel
ISSN: 1464-4258, 1741-3567
Datum der Publikation: 2006
Ausgabe: 8
Nummer: 4
Art: Artikel