CVD in a fluidized bed reactor: A method of developing coatings at temperatures below 600°C

  1. Sânchez, L.
  2. Bolívar, F.J.
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Zeitschrift:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 0948-1907 1521-3862

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 13

Nummer: 9

Seiten: 465-473

Art: Artikel

DOI: 10.1002/CVDE.200606560 GOOGLE SCHOLAR