Thermal stability of copper nitride thin films: The role of nitrogen migration
- Gonzalez-Arrabal, R.
- Gordillo, N.
- Martin-Gonzalez, M.S.
- Ruiz-Bustos, R.
- Agulló-López, F.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 2010
Ausgabe: 107
Nummer: 10
Art: Artikel