Nanomagnet fabrication on FBAR for magnetic sensor applications

  1. Campanella, H.
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  7. Díaz-Michelena, M.
  8. Guerrero, H.
Actas:
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium

ISSN: 1051-0117

ISBN: 9781424443895

Año de publicación: 2009

Páginas: 2166-2169

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ULTSYM.2009.5441750 GOOGLE SCHOLAR
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