Mechanical properties of sputtered silicon nitride thin films

  1. Vila, M.
  2. Cáceres, D.
  3. Prieto, C.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 2003

Volum: 94

Número: 12

Pàgines: 7868-7873

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.1626799 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus