Mechanical properties of sputtered silicon nitride thin films

  1. Vila, M.
  2. Cáceres, D.
  3. Prieto, C.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 94

Nummer: 12

Seiten: 7868-7873

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1626799 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus