Compositional characterization of silicon nitride thin films prepared by RF-sputtering

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  8. Respaldiza, M.A.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 67

Nummer: 3-4

Seiten: 513-518

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00221-X GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus