Characterization of Si3N4 thin films prepared by r.f. magnetron sputtering
- Vila, M.
- Prieto, C.
- Miranzo, P.
- Osendi, M.I.
- Ramírez, R.
Aldizkaria:
Surface and Coatings Technology
ISSN: 0257-8972
Argitalpen urtea: 2002
Alea: 151-152
Orrialdeak: 67-71
Mota: Artikulua