Estimation of the melting threshold of Ti supersaturated Si using time resolved reflectometry and haze measurements

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Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 1361-6641,  0268-1242

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 38

Nummer: 3

Art: Artikel

DOI: 10.1088/1361-6641/ACB16D GOOGLE SCHOLAR lock_openDocta Complutense editor

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