Estimation of the melting threshold of Ti supersaturated Si using time resolved reflectometry and haze measurements

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Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 1361-6641,  0268-1242

Ano de publicación: 2023

Volume: 38

Número: 3

Tipo: Artigo

DOI: 10.1088/1361-6641/ACB16D GOOGLE SCHOLAR lock_openDocta Complutense editor

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

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