Plasma oxidation of metallic gadolinium deposited on silicon by high pressure sputtering as high permittivity dielectric

  1. Pampillon, M. A.
  2. Feijoo, P. C.
  3. Andres, E. San
  4. Fierro, J. L. G.
Colección de libros:
PROCEEDINGS OF THE 2013 SPANISH CONFERENCE ON ELECTRON DEVICES (CDE 2013)
  1. Garcia, H (coord.)
  2. Castan, H (coord.)

ISSN: 2163-4971

ISBN: 978-1-4673-4668-9,  978-1-4673-4784-6

Año de publicación: 2013

Páginas: 5-8

Congreso: 9th Spanish Conference on Electron Devices (CDE)

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS