High speed e-beam lithography for gold nanoarray fabrication and use in nanotechnology

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Zeitschrift:
Beilstein Journal of Nanotechnology

ISSN: 2190-4286

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 5

Nummer: 1

Seiten: 1918-1925

Art: Artikel

DOI: 10.3762/BJNANO.5.202 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

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