Impedance spectroscopy of Al/AlN/n-Si metal-insulator-semiconductor (MIS) structures

  1. Schmidt, R.
  2. Mayrhofer, P.
  3. Schmid, U.
  4. Bittner, A.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 1089-7550 0021-8979

Año de publicación: 2019

Volumen: 125

Número: 8

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.5050181 GOOGLE SCHOLAR