IGNACIO
MARTIL DE LA PLAZA
Catedrático de universidad
José Antonio
Vallés Abarca
José Antonio Vallés Abarca-rekin lankidetzan egindako argitalpenak (1)
1983
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Influence of the sputtering gas pressure on deposition profiles
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Vol. 1, Núm. 3, pp. 1394-1397