IGNACIO
MARTIL DE LA PLAZA
Catedrático de universidad
Universitat d'Alacant
Alicante, EspañaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Universitat d'Alacant (1)
1983
-
Influence of the sputtering gas pressure on deposition profiles
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Vol. 1, Núm. 3, pp. 1394-1397