ANA EDILIA
SÁNCHEZ PELÁEZ
Profesora titular de universidad
Instituto de Ciencia de Materiales de Barcelona
Cerdanyola del Vallès, EspañaPublications in collaboration with researchers from Instituto de Ciencia de Materiales de Barcelona (1)
2010
-
Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires
Microelectronic Engineering, Vol. 87, Núm. 5-8, pp. 1479-1482