Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

  1. Gebremichael, Y.
  2. Sánchez, A.
  3. Borrise, X.
  4. Schmidt, M.
  5. Goñi, A.R.
  6. Alonso, M.I.
  7. Rurali, R.
  8. Suñé, J.
  9. Cartoixa, X.
  10. Pérez-Murano, F.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2010

Volumen: 87

Número: 5-8

Páginas: 1479-1482

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.086 GOOGLE SCHOLAR
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