Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

  1. Gebremichael, Y.
  2. Sánchez, A.
  3. Borrise, X.
  4. Schmidt, M.
  5. Goñi, A.R.
  6. Alonso, M.I.
  7. Rurali, R.
  8. Suñé, J.
  9. Cartoixa, X.
  10. Pérez-Murano, F.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2010

Alea: 87

Zenbakia: 5-8

Orrialdeak: 1479-1482

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.086 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus