Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires
- Gebremichael, Y.
- Sánchez, A.
- Borrise, X.
- Schmidt, M.
- Goñi, A.R.
- Alonso, M.I.
- Rurali, R.
- Suñé, J.
- Cartoixa, X.
- Pérez-Murano, F.
ISSN: 0167-9317
Argitalpen urtea: 2010
Alea: 87
Zenbakia: 5-8
Orrialdeak: 1479-1482
Mota: Artikulua