Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

  1. Gebremichael, Y.
  2. Sánchez, A.
  3. Borrise, X.
  4. Schmidt, M.
  5. Goñi, A.R.
  6. Alonso, M.I.
  7. Rurali, R.
  8. Suñé, J.
  9. Cartoixa, X.
  10. Pérez-Murano, F.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Ano de publicación: 2010

Volume: 87

Número: 5-8

Páxinas: 1479-1482

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.086 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus