Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

  1. Gebremichael, Y.
  2. Sánchez, A.
  3. Borrise, X.
  4. Schmidt, M.
  5. Goñi, A.R.
  6. Alonso, M.I.
  7. Rurali, R.
  8. Suñé, J.
  9. Cartoixa, X.
  10. Pérez-Murano, F.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2010

Volum: 87

Número: 5-8

Pàgines: 1479-1482

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.086 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus