Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

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Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 87

Nummer: 5-8

Seiten: 1479-1482

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.086 GOOGLE SCHOLAR
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