Pulverización reactiva de R. F.
- IBORRA GRAU, ENRIQUE
Defence university: Universidad Complutense de Madrid
Year of defence: 1986
- Maximino Rodríguez Vidal Chair
- José Luis Escudero Soto Secretary
- Elías Muñoz Merino Committee member
- Francisco Sánchez Quesada Committee member
- Albert Gras Martí Committee member
Type: Thesis
Abstract
La tesis consiste en el estudio profundo de los procesos de pulverización reactiva de dos materiales el SiO(2) y el Cu(2)S. Los estudios han estado centrados en los fenómenos en que intervienen los gases reactivos, tanto en el substrato como en el plasma y el blanco. El uso de técnicas de diagnosis del plasma (espectroscopias óptica y másica del gas de la descarga) han permitido correlacionar los procesos de extracción y transporte y su alteración por la presencia de los gases reactivos con las propiedades de las laminas crecidas, permitiendo su control y la obtención de una excelente reproducibilidad.