Pulverización reactiva de R. F.
- IBORRA GRAU, ENRIQUE
Université de défendre: Universidad Complutense de Madrid
Année de défendre: 1986
- Maximino Rodríguez Vidal President
- José Luis Escudero Soto Secrétaire
- Elías Muñoz Merino Rapporteur
- Francisco Sánchez Quesada Rapporteur
- Albert Gras Martí Rapporteur
Type: Thèses
Résumé
La tesis consiste en el estudio profundo de los procesos de pulverización reactiva de dos materiales el SiO(2) y el Cu(2)S. Los estudios han estado centrados en los fenómenos en que intervienen los gases reactivos, tanto en el substrato como en el plasma y el blanco. El uso de técnicas de diagnosis del plasma (espectroscopias óptica y másica del gas de la descarga) han permitido correlacionar los procesos de extracción y transporte y su alteración por la presencia de los gases reactivos con las propiedades de las laminas crecidas, permitiendo su control y la obtención de una excelente reproducibilidad.