Pulverización reactiva de R. F.
- IBORRA GRAU, ENRIQUE
Universidade de defensa: Universidad Complutense de Madrid
Ano de defensa: 1986
- Maximino Rodríguez Vidal Presidente/a
- José Luis Escudero Soto Secretario/a
- Elías Muñoz Merino Vogal
- Francisco Sánchez Quesada Vogal
- Albert Gras Martí Vogal
Tipo: Tese
Resumo
La tesis consiste en el estudio profundo de los procesos de pulverización reactiva de dos materiales el SiO(2) y el Cu(2)S. Los estudios han estado centrados en los fenómenos en que intervienen los gases reactivos, tanto en el substrato como en el plasma y el blanco. El uso de técnicas de diagnosis del plasma (espectroscopias óptica y másica del gas de la descarga) han permitido correlacionar los procesos de extracción y transporte y su alteración por la presencia de los gases reactivos con las propiedades de las laminas crecidas, permitiendo su control y la obtención de una excelente reproducibilidad.