Procesos de oxidación de Si mediante plasma de resonancia ciclotrónica de electrones

  1. San Andrés, E.
  2. Prado, A. del
  3. Blázquez, A.J.
  4. Mártil de la Plaza, Ignacio
  5. González-Díaz, G.
Journal:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Year of publication: 2004

Issue Title: VII Reunión Nacional de Materiales

Volume: 43

Issue: 2

Pages: 379-382

Type: Article

DOI: 10.3989/CYV.2004.V43.I2.546 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen access editor

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