Procesos de oxidación de Si mediante plasma de resonancia ciclotrónica de electrones

  1. San Andrés, E.
  2. Prado, A. del
  3. Blázquez, A.J.
  4. Mártil de la Plaza, Ignacio
  5. González-Díaz, G.
Aldizkaria:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Argitalpen urtea: 2004

Zenbakien izenburua: VII Reunión Nacional de Materiales

Alea: 43

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 379-382

Mota: Artikulua

DOI: 10.3989/CYV.2004.V43.I2.546 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor

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