Procesos de oxidación de Si mediante plasma de resonancia ciclotrónica de electrones

  1. San Andrés, E.
  2. Prado, A. del
  3. Blázquez, A.J.
  4. Mártil de la Plaza, Ignacio
  5. González-Díaz, G.
Revista:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Ano de publicación: 2004

Título do exemplar: VII Reunión Nacional de Materiales

Volume: 43

Número: 2

Páxinas: 379-382

Tipo: Artigo

DOI: 10.3989/CYV.2004.V43.I2.546 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor

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