Thin high-k dielectric layers deposited by ALD

  1. Campabadal, F.
  2. Zabala, M.
  3. Rafi, J.M.
  4. Acero, M.C.
  5. Sánchez, A.
  6. Sánchez, J.
  7. Sánchez, S.
  8. Andreu, R.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Año de publicación: 2009

Páginas: 27-30

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800421 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus