DRIE based novel technique for AFM probes fabrication
- Villanueva, G.
- Plaza, J.A.
- Sánchez, A.
- Zinoviev, K.
- Pérez-Murano, F.
- Bausells, J.
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2007
Volum: 84
Número: 5-8
Pàgines: 1132-1135
Tipus: Article
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2007
Volum: 84
Número: 5-8
Pàgines: 1132-1135
Tipus: Article