DRIE based novel technique for AFM probes fabrication
- Villanueva, G.
- Plaza, J.A.
- Sánchez, A.
- Zinoviev, K.
- Pérez-Murano, F.
- Bausells, J.
ISSN: 0167-9317
Datum der Publikation: 2007
Ausgabe: 84
Nummer: 5-8
Seiten: 1132-1135
Art: Artikel
ISSN: 0167-9317
Datum der Publikation: 2007
Ausgabe: 84
Nummer: 5-8
Seiten: 1132-1135
Art: Artikel