Mechanical properties of amorphous anodic alumina and tantala films using nanoindentation

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Zeitschrift:
Nanotechnology

ISSN: 0957-4484

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 13

Nummer: 4

Seiten: 451-455

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0957-4484/13/4/302 GOOGLE SCHOLAR
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