Mechanical properties of amorphous anodic alumina and tantala films using nanoindentation

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Revue:
Nanotechnology

ISSN: 0957-4484

Année de publication: 2002

Volumen: 13

Número: 4

Pages: 451-455

Type: Article

DOI: 10.1088/0957-4484/13/4/302 GOOGLE SCHOLAR

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