Deposition of Cu films from supercritical fluids using Cu(I) β-diketonate precursors

  1. Cabañas, A.
  2. Blackburn, J.M.
  3. Watkins, J.J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2002

Volumen: 64

Número: 1-4

Páginas: 53-61

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S0167-9317(02)00783-9 GOOGLE SCHOLAR
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