Deposition of conformal copper and nickel films from supercritical carbon dioxide
- Blackburn, J.M.
- Long, D.P.
- Cabañas, A.
- Watkins, J.J.
ISSN: 0036-8075
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 294
Nummer: 5540
Seiten: 141-145
Art: Artikel
ISSN: 0036-8075
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 294
Nummer: 5540
Seiten: 141-145
Art: Artikel